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TEOS的溶胶-凝胶行为对合成碳化硅晶须的影响
李心慰,曲殿利,吴锋,徐娜,栾旭
. 2016, (
6
): 420 -423 . DOI: 10.3969/j.issn.1001-1935.2016.05.005