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TiB2 - BN - AlN复相导电陶瓷蒸发舟性能影响因素研究进展

史晓伟1)白佳海1), 王 前2),杜庆洋1),张 雍2),魏春城1)   

  • 出版日期:2020-02-19 发布日期:2020-02-19

  • Online:2020-02-19 Published:2020-02-19

摘要: TiB2 - BN - AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响其致密度、导电性、力学性能(抗弯强度)和使用寿命的工艺因素;同时讨论了TBA复相陶瓷蒸发舟仍存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。