New progress in preparation of high purity SiC micropowder

doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2021.02.016

Abstract

Abstract:

The main preparation processes of high-purity SiC micropowder were reviewed,and the new progress of purification process of high-purity SiC micropowder in recent years was introduced.The upgrading of the preparation process,and the industrial technical process and equipment of high purity SiC micro-powder was prospected.

Key words: silicon carbide, preparation method, impurity removing, research progress

摘要：

综述了高纯SiC微粉主要制备工艺,介绍了近些年SiC微粉除杂提纯工艺新进展,提出未来高纯SiC微粉制备工艺应不断更新升级,产业化生产技术和装备也需要不断完善。

关键词: SiC, 制备方法, 除杂, 研究进展

CLC Number:

TQ175

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